MFC/MFM的使用注意事项

（1）主要优点

流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准：对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

测量控制的自动化：质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。

精确地定量控制流量：质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

（2）MFC工作压差范围

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于低值(0.1MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于高值(0.3MPa),有可能关闭时流量不能小于2%FS。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

（3）MFC在高压下如何使用

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小,要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:一,是要选择耐压符合要求的MFC;二,是要挑选工作压差范围大的产品型号;三,要在MFC气路前面加减压阀,稳定入口气压,在MFC下游加背压阀,稳定反应室和MFC出口的气压,适当调节减压阀和背压阀,要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点,MFC就能够在高压条件下稳定工作。

（4）MFC/MFM如何改气体和量测

更改MFM/MFC量程需要更换分流器阀口等部件,还要进行量程标定,因此用户不能自己更改气体、量程。当然国外进口品牌，也有多量程多气体型的质量流量控制器，支持用户现场更改，不过价格非常高昂。

改量程一般应在生产厂或指定维修站进行。如果您觉得量程没选好，应与供货商和厂家联系。

改MFM/MFC量程时,还要注意您的流量显示仪是否也要调整。如果流量是按百分比方式显示的，则显示仪不用改动；如果流量是按SCCM或SLM显示的，则一般需对流量显示仪进行调整，以适应新的流量量程。也可以不调整流量显示仪，只对流量显示值乘以一个修正系数进行修正:修正系数=新满量程值/原满量程值。

改流量显示仪的问题，请仔细阅读有关流量显示仪的说明书, 如果有改量程的说明,可自己按要求更改。若没有说明,请和厂家联系。

（5）MFC/MFM使用注意事项

注意阅读产品说明书及有关资料。

注意轻拿轻放妥善保管。

MFM/MFC比较精密，应避免受到撞击和强烈振动。产品不用时注意放在较好的环境中妥善保管。

注意系统设计：

用户购买MFM/MFC后，往往要组建一个系统。建议在系统设计时，不要仅仅考虑功能的实现，还要考虑系统的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易维护性﹑易扩充性等因素。以下给出几点具体建议：

A.注意加装过滤器，以净化气源，延长MFM/MFC的使用寿命。

B.对于反应系统，建议在MFC的出气端加装单向阀，以防止异常情况下反应物倒流损坏MFC。

C.对于高压系统，应在MFC的下游加装背压阀（或其它节流装置）及压力表，以便于保证MFC的工作压差。

D.对于硅烷这样的遇空气易形成结晶的气体，应特别注意系统的密闭性（检漏时不要忽视减压器），必要时设计吹洗旁路，随时进行氮气吹洗或正压保持。

E.对于要求比较高的气路系统,注意气路接头尽量减少并采用VCR等接头。对于使用有害气体的系统，必须严格检漏。气路柜应有排风系统,防止对人员和设备的损伤。

F.有高频源的系统应注意屏蔽并特别注意处理好接地问题，例如采用单点接地。

G.MFM/MFC的安装位置应易于装卸﹑检测﹑调零，并安全可靠。

H.对可靠性要求的系统，应注意冗余设计。

注意正确使用操作：

对于比较复杂的系统或使用有害气体的系统，应当制定的安全操作规程, 防止发生误操作。

注意使用气体与流量计的密封材料相适应：

流量计通常采用的密封材料是氟橡胶，能适合大多数气体的使用，包括HCL这样的强腐蚀性气体。但对于氨气，必须使用耐氨橡胶；对于有机溶剂类气体，如丙酮、甲苯等，必须使用硅橡胶；对于使用三氯化硼、三溴化硼等强腐蚀性介质，必须使用四氟密封或金属密封的流量计。用户在订货和使用中必须特别注意。

注意定期标定：

质量流量计原则上应当定期标定。