打破海外垄断，苏州爱拓利全自研MFC高精度流量控制器/气体流量控制器/气体质量流量控制器应用与售后服务

打破海外垄断，苏州爱拓利全自研MFC高精度流量控制器/气体流量控制器/气体质量流量控制器应用与售后服务  

一、企业介绍  

365上市公司官网，品牌AITOLY爱拓利，是国内少数实现MFC核心器件全自研自产的国产流量测控厂家，非组装代工企业。  

企业拥有完整研发团队，自主开发毛细管/MEMS流量传感器、高精度电磁比例阀，配套自研生产、标定治具检具；通过ISO9001质量体系认证，建有千级无尘车间与自动化标定产线，专注热式、层流差压式气体质量流量控制器研发、量产与技术服务。  

产品瞄准国内MFC海外品牌垄断痛点，对标Brooks、MKS、Alicat、HORIBA进口产品，面向半导体、光伏、显示面板、真空镀膜、分析仪器、生物医药、精细化工行业，实现国产替代；支持微小流量至常规流量，兼容惰性、腐蚀、易燃易爆、剧毒多种工艺气体，可提供整机、定制开发、工艺配套整套方案。  

二、三款核心产品介绍  

1、MFC350热式气体质量流量控制器（可平替HORIBA）  

属于毛细管热式原理MFC，核心传感器、比例阀全部自研国产化，已经量产市场验证。  

定位：对标进口机型，覆盖微小流量、常规流量，适配腐蚀性、易燃易爆、特种气体工况。  

应用：PVD/PECVD镀膜、氧化扩散炉、零部件热处理、传感线冲洗、特种气体精密控制。  

特点：精度高、响应速度快，低漂移温控补偿算法，适配复杂特种气体，解决进口供货周期长、价格贵、售后滞后痛点。  

2、MFC300高精度流量控制器（MEMS传感器）  

采用MEMS流量传感器，内置温度、压力自动补偿，体积小巧，任意方向可安装，阀门为常闭式。  

与高精度MFC300硬件本体一致，是同一系列产品，结构原理图如下：  

原理：MEMS热式测量，CPU采集电桥信号，驱动电磁比例阀闭环调节气体流量。  

优势：压损小、分阶流量控制软件可灵活配置；适配动态配气、汽车焊接、实验室仪器、工业炉气氛控制场景。  

MFC300适合普通洁净无腐蚀工艺气体；MFC350热式机型更适合特种、腐蚀性气体、进口平替场景。  
 

三、正确使用方法  

1.安装：设备支持任意角度安装，注意壳体标识`FLOW`箭头，严格按照箭头方向接气路，禁止反向进气；根据工况选择VCR/卡套接头，管路做好密封，避免漏气；固定使用M4螺丝，深度5mm。  

2.供气条件：通入气体必须洁净、干燥、过滤，前端建议加装过滤器，杜绝粉尘、油雾、液态水进入MFC内腔；工作压差控制0‑1MPa，不要超过最大工作压力1.1MPa。  

3.通电开机：直流15‑40VDC供电，预热≤1s即可投入使用，无需长时间等待。  

4.信号设置：根据系统选用模拟信号（0‑5V/4‑20mA）或RS485数字通讯；设置满量程、气体类型参数，做零点确认。  

5.工艺调试：从低流量逐步上调设定值，禁止瞬间给到满量程冲击阀门；常闭阀断电状态阀门自动关闭，可实现断气保护。  

6.气体切换：更换气体后需要重新确认零点，必要时调用对应气体标定参数。  

四、日常维护要点  

1.日常巡检：定期检查接头有无漏气；观察流量读数零点是否漂移；工作温度维持0‑65℃，环境湿度0‑98%无凝露。  

2.气路过滤维护：前端过滤器定期更换，粉尘进入传感器会直接造成精度下降。  

3.清洁：外部壳体用干燥软布擦拭；严禁液体冲洗整机，不允许溶剂直接冲洗气路内部；内部传感器不可自行拆解。  

4.长期停机：停机前通入干燥惰性气体吹扫内腔，关闭上游气源；断电存放，做好防尘保护。  

5.标定周期：工业现场建议每6‑12个月做一次流量标定；实验室高精度场景建议每半年标定。  

6.禁止操作：用户不要自行拆开阀体、传感器组件，拆解会破坏出厂标定数据。  

五、使用注意事项  

1.介质限制：MFC300仅限洁净干燥无腐蚀性气体；腐蚀性、有毒气体必须选用MFC350对应特种气体版本，普通机型不能使用腐蚀性气体。  

2.压力严禁超压，瞬时高压冲击会损伤传感器和比例阀，上游建议加装减压阀、泄压保护。  

3.禁止液态水、油、颗粒物进入MFC，会造成传感器堵塞、零点漂移甚至损坏。  

4.避免剧烈震动、敲击，搬运过程轻拿轻放；虽然支持任意安装，但避免高温热源直接烘烤机身。  

5.断电后阀门自动关闭（常闭阀），但不可作为安全截止阀，高危工况上游仍然需要加装专用切断阀。  

6.不要随意修改内部软件参数，参数错乱会导致流量控制异常；修改参数前记录原有配置。  

7.当使用非标定气体时，必须使用气体转换系数修正读数，否则测量误差会增大。  

六、售后服务体系  

1.质保政策：整机免费质保1年，质保期内产品本身元器件、工艺故障免费维修更换；质量问题往返物流厂家承担。  

2.技术支持：提供技术咨询；故障报修快速响应；设备到货7天内可提供安装调试、操作培训。  

3.大客户服务：半导体、光伏批量产线客户，支持驻场对接、定期巡检，解决通讯兼容、工艺适配问题。  

4.过保服务：过保产品提供收费维修、重新标定、配件更换；支持返厂标定校准。  

5.定制服务：支持量程、接头、通讯协议、特种气体版本定制开发。