1sccm气体质量流量计热式测量原理:利用传感器表面加热后与流过传感器的流体或气体之间的传热作用来测量质量流量。

爱拓利是国内专注于高精度气体质量流量计与控制器研发与制造的核心企业，深耕行业关键技术自主化，致力于为各领域提供的流量控制解决方案。在核心技术与产品力上，公司实现关键突破:产品核心部件--流量传感器与高精度微型气体比例阀，已达成1 00% 国产化自研自制，全生产制程自主可控，从根源上摆脱对进口部件的依赖;经实践验证，其产品综合性能已赶超国际同类进口产品打破国外品牌在高精度流量控制领域的技术壁垒。凭借过硬的产品品质，公司产品广泛服务于多元化高要求场景覆盖半导体、光伏、生命科学、燃料电池、高精度分析仪器石油化工、制气配气、生物医疗、食品加工、环保监测、工业自动化控制等十余大核心行业，为各行业的工艺精准控制与高效生产提供稳定支撑。在生产与品控保障上，公司构建了全链条高标准体系:自建千级无尘车间，保障核心产品洁净生产环境;配备自主可控的核心元器件自动化生产设备，提升生产效率与一致性;搭建高标准自动测试平台及校准系统，确保每一台产品性能精准达标;同时，公司严格遵循ISO9001质量管理体系，通过品质认证，以系统化管理保障产品质量稳定可靠。自成立以来，苏州爱拓利始终以“关键技术自主研发"为核心使命，以市场需求为导向，以“产品品质+专业服务"为生存基石持续为客户创造价值。

介质要求洁净干燥无腐蚀性气体

气体种类：Air, N2, O2, Ar, CH4, CO2

测量范围：0.2%F.S. – 1 00% F.S. (1:500)

控制范围;：0.2%F.S. – 1 00% F.S. （1:500）

准确度：     0.5% F.S.

工作压差：0-1 MPa

耐压：1.1 MPa

控制响应时间<300ms

阀门类型:常闭阀

预热时间：<1s

量程范围：0-5 sccm…5slpm

分辨率： 0.01sccm(0-50sccm可选); 0.1sccm(0-1000sccm); 1sccm(1-5slpm)

通讯方式：0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN

标况:20℃， 1atm