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产品简介
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MFM/MFC330/350系列气体质量流量计/控制器,产品基于毛细管柱热式原理,主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。
MFM/MFC330/350系列气体质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、稳定性好、工作压力范围宽、极低零漂等特点。模拟量和数字量等多种通讯方式可选,内置显示屏可选,操作配置灵活。
MFC330/350 | ||
阀门 | 常闭式 | |
流量规格 | 0-2, 10, 20, 100, 300, 500 sccm;0-1, 2, 5, 10, 20, 50 slpm (MFC350可支持更大量程至200slpm,详询4008919886) | |
流量测量范围 | 0.5% - 1 00% F.S. (1:200) | |
流量控制范围(MFC) | 1% - 1 00% F.S. (1:100) | |
准确度 | ±1% F.S.(MFC330); ±1.0% S.P. (量程≥35% F.S.), ±0.35% F.S.( <35% F.S.) 或 ±0.5% F.S.(取优值) (MFC350) | |
重复精度 | ±0.2% F.S. | |
控制响应时间 | ≤5秒(MFC330), ≤1秒(MFC350) | |
工作压力 | 3 MPa (30bar) | |
工作压差范围 | 0 ~ 1 MPa | |
预热时间 | 5 min (T95), 30分钟 | |
工作温度范围 | -20 ~ 65℃ (环境和气体) | |
湿度范围 | 0 ~ 98% 无凝露 | |
电源 | 15-40 VDC,≤ 5w(MFC330/350), ≤ 1.2w(MFM330/350) | |
通讯方式 | 模拟量: 0-5VDC, 4-20mA 数字量: Modbus RTU (RS485, RS232) CAN (可选); 以上所有,以及Ethercat,Profibus (MFC350可选) | |
输入输出阻抗 | 输入阻抗>10MΩ, 输出阻抗<1kΩ | |
密封材料 | 氟橡胶(FKM)全氟醚(FFKM)(可选) | |
安装方式 | 水平安装 | |
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