热式微流量气 体质量流量计 是一款毛细管热式 流量计，稳定性好，响应速度快。

2 sccm – 200 slm   主要参数 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE

介质要求 Applicable Media 洁净干燥气体 Clean, dry gases 

气体种类 Gas Type 90+ Available for 90+types of gas 

量程 Full cale (N2 equivalent) 0-2, 10, 20, 50, 100, 200 sccm; 0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200 slpm 

测量范围 Measurement range 0.5% F.S. (1:200) 

控制范围 Control range 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC）

准确度 Accuracy ±1% F.S. 

重复精度 Repeatability ±0.2% F.S. 

线性度 Linearity ±0.2% F.S. 

控制响应时间 Typical control response time <1 秒 

预热时间 Warm-up time 5 min (T95),

30分钟最佳 30min for optimum accuracy 

阀门 Valve function 

常闭式 Normally Closed 

泄漏率 Leak integrity 1*10-9 Pa*m³/sec He 分辨率 Resolution ratio 0.001sccm

公司自主研发的核心器件全自研全国产化的热式气体质量流量计（MFC330/MFC350 系列产 品）已经量产并通过市场验证。核心部件毛细管热式传感器、高精度电磁比例阀自主 研制、核心生产设备及治具检具亦自主研制。本项目专注于的层流差压式气体质量流 量控制器（MFC）的研发、国产化量产、销售与技术服务，聚焦半导体、光伏、显示面板、 真空镀膜、分析仪器、生物医药、精细化工等制造领域。针对国内 MFC 长期被海 外品牌垄断、供货周期长、价格高昂、售后滞后、卡脖子风险突出等行业痛点，团队依托 自主流体控制算法、自产高精度流量传感器及控制比例阀、低漂移温控补偿技术，打造高 精度、高稳定性、长寿命、高性价比的国产化 MFC 系列产品。 项目产品可全面替代进口美国 Brooks、MKS、Alicat、日本 Horiba 等主流海外品牌，覆盖 微小流量、常规流量场景，兼容腐蚀性气体、惰性气体、剧毒、易燃易爆气体等多介质工 况。目前项目已完成技术打磨、正在进行性能测试、小批量试产，具备市场化落地条件。 本轮计划融资用于产品迭代研发、产线扩建、资质认证、市场拓展、布局及核心团队 扩充，打破进口垄断、快速抢占国产替代市场红利，打造的精密气体流量测控仪 表品牌。