真空流量计MFC350是一款全新的毛细管热式气体质量流量计，精度高，响应快速，支持Ethercat通讯

350 系列气体质量流量计技术参数 2 sccm – 400 slm 

注：所有设计及规格仅供参考，如有更改恕不另行通知。Note: all designs and specifications are for reference only and is subject to change without prior notice.主要参数 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE 

介质要求 Applicable Media 洁净干燥气体 Clean, dry gases 

气体种类 Gas Type 90+ Available for 90+types of gas 

量程 Full cale (N2 equivalent) 0-2, 20, 50, 100, 200 sccm; 0- 20, 30, 50, 100, 200 slpm( MFM350 400slmp)

测量范围 Measurement range 0.5% F.S. (1:200)

控制范围 Control range 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC）

准确度 Accuracy ±0.35% F.S. (<35% FS.)，±1.0% S.P. （≥35% F.S.）或 0.5%F.S. 重复精度 Repeatability ±0.2% F.S. 线性度 Linearity ±0.2% F.S. 

控制响应时间 Typical control response time ≤1 秒 

预热时间 Warm-up time 5 min (T95),30分钟最佳 30min for optimum accuracy 

阀门 Valve function 常闭式 Normally Closed 泄漏率 Leak integrity 1*10-10 Pa*m³/sec He 分辨率 Resolution ratio 0.001sccm 机械特性 MECH

ANICAL 耐压 Maximum Pressure 3 MPa (30bar)（50slpm以上详询厂家）

工作压差范围 Operating differential pressure 0~1 MPa * 工作温度范围 Operating temperature range -20～65℃ (环境和气体 ambient and gas) 

湿度范围 Relative humidity range 0~98%无凝露No - condensing 

气路接头类型 Process connections 卡套、快拧、VCR (Compression fitting, Push-in fitting, , VCR optional) 

气体接触材质 Material FKM、316 不锈钢 (FKM 316 Stainless steel)* 密封材质 Seals FKM，FFKM 防护等级 Ingress protection (housing) IP40 安装方式 Mounting 水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation 固定孔 Mounting holes M4 ↧ 5mm 重量 Weight 0.84 kg (MFM) / 0.98 kg (MFC) 电气和通讯 COMMUNICATIONS 电气连接接口类型 Electrical connection DB-9 公头 (Male) 模拟信号 Analog input and output options 0- 5 V DC, 4- 20mA (可定制) 输入输出阻抗 Impedance resistance 输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<400Ω 数字信号 Digital input and output options Modbus RTU (RS232, RS485), CAN, EtherCat 电源 Power requirements 15-40 VDC,<200mA 显示更新频率 Display update rate 50 Hz 模拟信号精度 Analog signal accuracy ±0.02% F.S. 特征 FEATURES 

标况 STP reference conditions 20℃(可设置), 1 atm 气体选择 Gas Select 可选，