小流量质量流量计MFC350 是 一款毛细管热式流量计，精度高±0.2% F.S. 稳定好，量程可达400slm .

350 系列气体质量流量计技术参数 2 sccm – 400 slm 

 介质要求 Applicable Media 洁净干燥气体 Clean, dry gases 

气体种类 Gas Type 90+ Available for 90+types of gas 

量程 Full cale (N2 equivalent) 0-2, 20, 50, 100, 200 sccm; 0- 20, 30, 50, 100, 200 slpm( MFM350 400slmp)

测量范围 Measurement range 0.5% F.S. (1:200)

控制范围 Control range 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC） 

准确度 Accuracy ±0.35% F.S. (<35% FS.)，±1.0% S.P. （≥35% F.S.）或 0.5%F.S.取

重复精度 Repeatability ±0.2% F.S. 

线性度 Linearity ±0.2% F.S. 

控制响应时间 Typical control response time <1 秒 

预热时间 Warm-up time 5 min (T95),30分钟最佳 30min for optimum accuracy

阀门 Valve function 

常闭式 Normally Closed 

泄漏率 Leak integrity 1*10 -10 Pa*m³/sec He 

分辨率 Resolution ratio 0.001sccm

 耐压 Maximum Pressure 3 MPa (30bar)（50slpm以上详询厂家