光伏行业

在 PECVD 过程中，需要精确配比反应气体，如硅烷（SiH?）、氨气（NH?）等。气体质量流量控制器MFC能够准确测量和控制这些气体的流量，确保薄膜的厚度、均匀性和光电性能达到理想状态，从而提高光伏电池的转换效率和稳定性。
PVD（物理气相沉积）：PVD 过程中，也需要对各种反应气体进行精确控制。气体质量流量控制器可以根据工艺要求，稳定地提供所需的气体流量，保证沉积薄膜的质量和性能，满足光伏电池的生产需求。